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2017發明展科技館亮點技術 - 提升水下超音波發射接收陣列感測元件偵測度及良率應用於水下目標物影像擷取系統之研發
近年隨著微機電系統技術的成熟,早期使用壓電陶瓷片製作超音波感測元件 之技術到現今已多利用薄膜來製作超音波感測元件,而薄膜超音波感測元件更由原 本背蝕刻的技術進步到利用犧牲層技術建構微橋結構來提升元件之靈敏度,這些 薄膜式感測元件有方便製作及面積小數量多的優點,在市場上有很好的發展潛力。
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